製品情報
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製品情報 Product information
SpeedシリーズTS型
特長
環(huán)境問題とフロン類の関係性:
•オゾン層破壊への影響：
「特定フロン」は、オゾン層破壊効果と高い溫室効果を有し、オゾン層を破壊します。
•地球溫暖化への影響：
特定フロンの代替として利用される「代替フロン」は、オゾン層破壊効果はないものの、高い溫室効果を有するため、地球溫暖化に影響を與えます。
- 冷卻、昇溫各5分程度
- もうフロンは不要です???He（ヘリウム）ガスを冷媒に使用
- フロン系コールドトラップと同様に使用可能
- 軽量コンパクト???設置スペースが約1/3
- 水分の多いパッチ式裝置、光學用成膜裝置に最適???あらゆる真空裝置に使用可能
- 特許出願中
概要
スピードシリーズTS型は、フロン系コールドトラップに替わるヘリウム冷凍機を用いた極低溫スーパートラップ（水分子に対する排気速度10,000～100,000L/s）です。バッチ式の真空裝置や光學用の成膜裝置では、真空排気時と蒸著時に基板などから放出される水を効率よく排気するために、蒸著室內または主バルブと蒸著室の間の排気ラインに極低溫面を配置していますが、蒸著基板などを300ºC以上に加熱する場合が多いため、大きな冷凍能力のフロン系（代替フロン）のコールドトラップが使われています。代替フロン（HFC）は、CO2 の數(shù)千倍もの溫室効果があるため、地球溫暖化の要因となっています。
TS型スーパートラップに使用しているヘリウムガスは、地球溫暖化係數(shù)が0で、環(huán)境に対する影響が一切心配ありません。
アルバック?クライオでは、大型の冷凍機を使用したフロン系コールドトラップに替わる地球環(huán)境にやさしいトラップを商品化いたしました。
