製品情報(bào)
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製品情報(bào) Product information
標(biāo)準(zhǔn)型クライオポンプ [4型]
CRYO-U4H
特長(zhǎng)
- 4型のクライオポンプで最高の排気特性を発揮します。
- 高い排気速度は、排気効率と生産性の向上に寄與します。
- 特に半導(dǎo)體製造裝置のスパッタプロセスや小規(guī)模の裝置に適しています。
- １臺(tái)のコンプレッサーで4臺(tái)までのポンプを運(yùn)転することが可能です。
- ご使用の用途に合わせた設(shè)計(jì)、製作が可能です。
外形寸法 (単位:mm)
標(biāo)準(zhǔn)仕様
| 排気速度(20℃) | 窒素 | L/s | 450 |
| 水素 | 500 | ||
| アルゴン | 370 | ||
| 水 | 1,100 | ||
| 到達(dá)圧力 | Pa | 10-7 | |
| 最大流量 | アルゴン | Pa?L/s | 1.3×103 |
| 排気容量 | アルゴン | Pa?L | 1.0×107 |
| 水素 | 1.5×105 | ||
| 冷卻降下時(shí)間 | min(50/60Hz) | 45/50 | |
| 質(zhì)量 | Kg | 14.5 | |
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