產(chǎn)品信息
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產(chǎn)品信息
標(biāo)準(zhǔn)低溫泵22型
CRYO-U22H
特征
- Suitable for large deposition systems.
- Larger pumping speed for water.
外形尺寸（單位：mm）
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
| 排氣速度（20℃） | 氮?dú)?/td> | L/s | 17,000 |
| 氫氣 | 25,000 | ||
| 氬氣 | 14,000 | ||
| 水 | 39,000 | ||
| 極限壓力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氬氣 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 4.1×103(31) |
| 氫氣 | 1.3×103(9.6) | ||
| 排氣量 | 氬氣 | Pa?L(Torr?L) | 8.1×108(6.1×106) |
| 氫氣 | 8.5×106(6.4×104) | ||
| 冷卻下降時(shí)間 | min(Hz) | 150/135(50/60) | |
| 吸氣口法蘭 | UVG-550 | ||
| 壓縮機(jī)裝置 | C30VR×2 | ||
| 重量 | kg | 125.0 | |
*保養(yǎng)周期：16,000小時(shí)
Export permission of the Ministry of Economy, Trade and Industry is required for export of U22H and U30H.
Wide Variety of Models, ranging from 6" diameter to 30" diameter.
COMBINATION OF CRYOPUMP AND COMPRESSOR UNIT
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