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Speed TS系列
特征
可代替氟利昂冷阱
- 大幅縮短排氣時間,提高裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)效率。
- 因使用氦氣,地球暖化系數(shù)為零。
(氟利昂冷阱的地球暖化系數(shù)為1,600~3,800) - 性能等高于氟利昂冷阱。
- 冷卻、升溫均在10分鐘以內(nèi)完成。
- 有效排氣速度為10,000~100,000L/s。
- 因輕便、緊湊,實施操作起來簡單。(設(shè)置空間只需氟利昂冷阱的1/3)
- 最適用于水分多的批處理式裝置,光學(xué)成膜裝置(適用于所有真空裝置)。