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產(chǎn)品信息

Speed TS系列

特征

可代替氟利昂冷阱

  1. 大幅縮短排氣時間,提高裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)效率。
  2. 因使用氦氣,地球暖化系數(shù)為零。
    (氟利昂冷阱的地球暖化系數(shù)為1,600~3,800)
  3. 性能等高于氟利昂冷阱。
  4. 冷卻、升溫均在10分鐘以內(nèi)完成。
  5. 有效排氣速度為10,000~100,000L/s。
  6. 因輕便、緊湊,實施操作起來簡單。(設(shè)置空間只需氟利昂冷阱的1/3)
  7. 最適用于水分多的批處理式裝置,光學(xué)成膜裝置(適用于所有真空裝置)。
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