產(chǎn)品信息
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Speed TS系列
特征
可代替氟利昂冷阱
- 大幅縮短排氣時(shí)間，提高裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)效率。
- 因使用氦氣，地球暖化系數(shù)為零。
（氟利昂冷阱的地球暖化系數(shù)為1,600～3,800） - 性能等高于氟利昂冷阱。
- 冷卻、升溫均在10分鐘以內(nèi)完成。
- 有效排氣速度為10,000～100,000L/s。
- 因輕便、緊湊，實(shí)施操作起來(lái)簡(jiǎn)單。（設(shè)置空間只需氟利昂冷阱的1/3）
- 最適用于水分多的批處理式裝置，光學(xué)成膜裝置（適用于所有真空裝置）。
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