製品情報
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製品情報 Product information
標(biāo)準(zhǔn)型クライオポンプ [16型]
CRYO-U16
特長
- 中、大型生産裝置に最適です。
- バッチ式大型成膜裝置に最適。
- 熱負(fù)荷に強(qiáng)いタイプ。
外形寸法 (単位:mm)
標(biāo)準(zhǔn)仕様
| 排気速度(20℃) | 窒素 | L/s | 5,000 |
| 水素 | 10,000 | ||
| アルゴン | 4,200 | ||
| 水 | 16,000 | ||
| 到達(dá)圧力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | アルゴン | Pa?L/s(Torr?L/s) | 1.4×103(11.0) |
| 水素 | 4.1×102(3.1) | ||
| 排気容量 | アルゴン | Pa?L(Torr?L) | 4.3×108(3.3×106) |
| 水素 | 2.4×106(1.8×104) | ||
| 冷卻降下時間 (電力サイクル) |
min(Hz) | 110/100(50/60) | |
| 吸気口フランジ | UVG-400 | ||
| コンプレッサユニット | C30VR | ||
| 質(zhì)量 | Kg | 61.0 | |
*メンテナンスインターバル：16,000時間
*移動ベースはオプションです
