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| 排気速度(20℃) | 窒素 | L/s | 4,000 |
| 水素 | 6,800 | ||
| アルゴン | 3,300 | ||
| 水 | 9,500 | ||
| 到達圧力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | アルゴン | Pa?L/s(Torr?L/s) | 2.0×103(15.0) |
| 水素 | 4.1×102(3.1) | ||
| 排気容量 | アルゴン | Pa?L(Torr?L) | 3.1×108(2.3×106) |
| 水素 | 9.8×105(7.4×103) | ||
| 冷卻降下時間 (電力サイクル) |
min(Hz) | 90/80(50/60) | |
| 吸気口フランジ | UVG-300,10BANSI | ||
| コンプレッサユニット | C30VR | ||
| 質(zhì)量 | Kg | 40 | |
*メンテナンスインターバル：16,000時間
アルバック?クライオ株式會社
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営業(yè) ：0467-85-8884
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